一種空腔型薄膜體聲波諧振器及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710895254.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN107809221B 公開（公告）日 2021-05-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN107809221B 申請(qǐng)公布日 2021-05-11
分類號(hào) H03H3/02;H03H9/02;H03H9/17 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 李國強(qiáng);李潔 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 佛山市艾佛光通科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 王國標(biāo)
地址 510700 廣東省廣州市黃埔區(qū)開源大道136號(hào)B2棟1103室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種空腔型薄膜體聲波諧振器及其制備方法，包括支撐襯底、支撐層、薄膜結(jié)構(gòu)層和頂電極；所述支撐襯底、支撐層與所述薄膜結(jié)構(gòu)層形成的空腔為空氣腔體，所述支撐襯底為空氣腔底；所述支撐層設(shè)置在支撐襯底表面邊緣處，形成空氣腔壁；所述薄膜結(jié)構(gòu)層設(shè)置在支撐襯底上，形成空氣腔蓋；所述薄膜結(jié)構(gòu)層從下至上分別為底電極、壓電層，所述頂電極位于所述壓電層上。所述制備方法無需采用CMP工藝，無需引入犧牲層，保證壓電層的晶體質(zhì)量不受損傷，同時(shí)簡化生產(chǎn)工藝，降低設(shè)備成本。該疊層支撐結(jié)構(gòu)的空腔型薄膜體聲波諧振器適用于超薄壓電薄膜在FBAR中的應(yīng)用，有益于提升射頻濾波器器件工作頻率，降低功耗，緩解目前無線頻段緊張的現(xiàn)狀。