一種圓晶傳輸用顆粒外接吹掃機(jī)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210070349.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114453338A 公開（公告）日 2022-05-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN114453338A 申請(qǐng)公布日 2022-05-10
分類號(hào) B08B5/02（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 陳兆榮 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 賽林斯彌（無錫）電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中創(chuàng)博騰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 214104江蘇省無錫市錫山區(qū)安鎮(zhèn)街道丹山路88號(hào)錫東創(chuàng)融大廈C座1210
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種圓晶傳輸用顆粒外接吹掃機(jī)構(gòu)，包括結(jié)構(gòu)主體、晶圓、夾持機(jī)構(gòu)與連接構(gòu)件，所述連接構(gòu)件一側(cè)設(shè)置有連接桿，所述連接桿底端設(shè)置有氣缸，所述氣缸底端設(shè)置有伸縮桿，所述伸縮桿底端設(shè)有移動(dòng)座，所述移動(dòng)座內(nèi)側(cè)底部設(shè)有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸出端傳動(dòng)連接有傳動(dòng)軸，且所述傳動(dòng)軸末端連接有轉(zhuǎn)動(dòng)環(huán)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)環(huán)一側(cè)表面設(shè)置有環(huán)形管，所述環(huán)形管一側(cè)設(shè)置有吹掃機(jī)構(gòu)；通過設(shè)計(jì)了氣缸、伸縮桿、氮?dú)膺M(jìn)氣管、伺服電機(jī)、轉(zhuǎn)動(dòng)環(huán)、環(huán)形管、噴氣管，當(dāng)晶圓從工藝箱中取出進(jìn)行傳送時(shí)，氮?dú)饪梢詫?duì)晶圓表面進(jìn)行全方面的吹掃，使得吹掃的更加徹底，保證了空氣中的顆粒數(shù)不會(huì)對(duì)晶圓加工后的質(zhì)量與可靠性造成影響，結(jié)構(gòu)簡單，實(shí)用性高。