一種晶硅太陽能電池選擇性發(fā)射極的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111045200.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113903817A 公開（公告）日 2022-01-07
申請公布號 CN113903817A 申請公布日 2022-01-07
分類號 H01L31/0224（2006.01）I;H01L31/068（2012.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 許爍爍;張威;楊斌;徐偉;李濤;吳易龍 申請（專利權(quán)）人 湖南紅太陽光電科技有限公司
代理機構(gòu) 湖南兆弘專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 何文紅
地址 410205湖南省長沙市高新開發(fā)區(qū)桐梓坡西路586號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶硅太陽能電池選擇性發(fā)射極的制備方法，包括以下步驟：在硅基體表面制備硼原子摻雜濃度≥1E21atoms/cm3的硼硅玻璃薄膜；采用激光對硅基體表面金屬接觸區(qū)域的硼硅玻璃薄膜進行局部摻雜；對經(jīng)過局部摻雜后的硅基體進行高溫退火，完成對晶硅太陽能電池選擇性發(fā)射極的制備。本發(fā)明制備方法，通過先在硅基體表面制備高摻雜濃度的硼硅玻璃薄膜，進而通過激光選擇性摻雜和高溫退火處理制備得到了性能更佳的晶硅太陽能電池選擇性發(fā)射極，有利于顯著提升晶硅太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率；同時本發(fā)明制備方法還具有工藝簡單、操作方便、易于控制等優(yōu)點，能夠直接利用現(xiàn)有設(shè)備進行制備，適合性強，便于工業(yè)化利用。