一種石墨舟托盤、石墨舟和管式PECVD設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121504398.4 申請日 -
公開（公告）號 CN215757606U 公開（公告）日 2022-02-08
申請公布號 CN215757606U 申請公布日 2022-02-08
分類號 C23C16/458（2006.01）I;C23C16/50（2006.01）I;H01L21/673（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 周佑丞;譚建;謝洪波;張春成;趙志然 申請（專利權(quán)）人 湖南紅太陽光電科技有限公司
代理機構(gòu) 湖南兆弘專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 何文紅
地址 410205湖南省長沙市高新開發(fā)區(qū)桐梓坡西路586號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種石墨舟托盤、石墨舟和管式PECVD設(shè)備，該托盤包括托盤底板和用于支撐石墨舟的支撐機構(gòu)，支撐機構(gòu)包括至少兩個支架和至少一個防抖機構(gòu)，支架設(shè)于托盤底板的兩端，防抖機構(gòu)設(shè)于托盤底板的中部。石墨舟包括舟片和用于支撐舟片的托盤。本實用新型石墨舟托盤，通過在托盤底板上增加具有隨動、防抖功能的支撐機構(gòu)，不僅能夠減少石墨舟在橫向和豎向運動過程中的抖動，而且能夠增強石墨舟的橫向和豎向運動剛度，減少了石墨舟的變形，具有整體剛度高、防抖效果好等優(yōu)點，在保證石墨舟與硅片緊密貼合的前提下，有效減少翹片及掉片現(xiàn)象，提高了PECVD設(shè)備的放電可靠性及穩(wěn)定性，提高了整機生產(chǎn)效率，使用價值高，應(yīng)用前景好。