在線石墨舟翹片檢測裝置及檢測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111405832.8 申請日 -
公開（公告）號 CN114136967A 公開（公告）日 2022-03-04
申請公布號 CN114136967A 申請公布日 2022-03-04
分類號 G01N21/84（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 代威;李祥輝 申請（專利權）人 湖南紅太陽光電科技有限公司
代理機構 湖南兆弘專利事務所（普通合伙） 代理人 戴玲
地址 410205湖南省長沙市高新開發(fā)區(qū)桐梓坡西路586號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種在線石墨舟翹片檢測裝置及檢測方法，裝置包括機架、石墨舟縱向傳輸機構、石墨舟橫向傳輸機構、檢測元件和檢測縱向移動機構，所述石墨舟橫向傳輸機構設于機架的底部，石墨舟縱向傳輸機構設于石墨舟橫向傳輸機構上，石墨舟縱向傳輸機構用于驅動石墨舟縱向移動，石墨舟橫向傳輸機構用于驅動石墨舟縱向傳輸機構橫向移動，檢測縱向移動機構設于機架上且位于石墨舟橫向傳輸機構的上方，檢測縱向移動機構用于驅動檢測元件縱向移動。本發(fā)明通過檢測元件自動檢測石墨舟內的硅片，不再需要人工對石墨舟進行翹片檢測，自動化程度高，效率更高，檢測可靠性更高，在減少人工接觸帶來的污染及碎片，節(jié)約設備的運行成本。