在線石墨舟翹片檢測(cè)裝置及檢測(cè)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111405832.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114136967A 公開(kāi)（公告）日 2022-03-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN114136967A 申請(qǐng)公布日 2022-03-04
分類號(hào) G01N21/84（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 代威;李祥輝 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 湖南紅太陽(yáng)光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 湖南兆弘專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 戴玲
地址 410205湖南省長(zhǎng)沙市高新開(kāi)發(fā)區(qū)桐梓坡西路586號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種在線石墨舟翹片檢測(cè)裝置及檢測(cè)方法，裝置包括機(jī)架、石墨舟縱向傳輸機(jī)構(gòu)、石墨舟橫向傳輸機(jī)構(gòu)、檢測(cè)元件和檢測(cè)縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述石墨舟橫向傳輸機(jī)構(gòu)設(shè)于機(jī)架的底部，石墨舟縱向傳輸機(jī)構(gòu)設(shè)于石墨舟橫向傳輸機(jī)構(gòu)上，石墨舟縱向傳輸機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)石墨舟縱向移動(dòng)，石墨舟橫向傳輸機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)石墨舟縱向傳輸機(jī)構(gòu)橫向移動(dòng)，檢測(cè)縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)于機(jī)架上且位于石墨舟橫向傳輸機(jī)構(gòu)的上方，檢測(cè)縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)檢測(cè)元件縱向移動(dòng)。本發(fā)明通過(guò)檢測(cè)元件自動(dòng)檢測(cè)石墨舟內(nèi)的硅片，不再需要人工對(duì)石墨舟進(jìn)行翹片檢測(cè)，自動(dòng)化程度高，效率更高，檢測(cè)可靠性更高，在減少人工接觸帶來(lái)的污染及碎片，節(jié)約設(shè)備的運(yùn)行成本。