一種用于立式爐的自動(dòng)上下料系統(tǒng)及立式爐體

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210034360.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114203611A 公開(kāi)（公告）日 2022-03-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN114203611A 申請(qǐng)公布日 2022-03-18
分類號(hào) H01L21/677（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I;C30B31/14（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李祥輝;代威;郭艷;趙志然;成秋云 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 湖南紅太陽(yáng)光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 湖南兆弘專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張園
地址 410205湖南省長(zhǎng)沙市高新開(kāi)發(fā)區(qū)桐梓坡西路586號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種用于立式爐的自動(dòng)上下料系統(tǒng)，包括石英舟取放裝置、翻舟裝置、硅片頂升裝置、整片裝置、插取片機(jī)械手和硅片上下料傳輸裝置；石英舟取放裝置用于帶動(dòng)石英舟在緩存架、反應(yīng)腔和翻舟裝置之間轉(zhuǎn)移；翻舟裝置用于實(shí)現(xiàn)石英舟在立式狀態(tài)和臥式狀態(tài)之間進(jìn)行變換；硅片頂升裝置用于帶動(dòng)硅片做升降運(yùn)動(dòng)；整片裝置用于實(shí)現(xiàn)硅片的對(duì)中；插取片機(jī)械手用于帶動(dòng)硅片在硅片上下料傳輸裝置和硅片頂升裝置之間進(jìn)行轉(zhuǎn)移；硅片上下料傳輸裝置用于實(shí)現(xiàn)硅片從花籃取出并傳輸至插取片機(jī)械手的取片位。本發(fā)明還公開(kāi)了一種立體爐體，包括如上所述自動(dòng)上下料系統(tǒng)。本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)緊湊、占地空間小、取片精度高、自動(dòng)化程度高、穩(wěn)定性高等優(yōu)點(diǎn)。