一種平板式PECVD設(shè)備用多段式電極板輝光放電裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010651363.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113913790A 公開(kāi)（公告）日 2022-01-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN113913790A 申請(qǐng)公布日 2022-01-11
分類號(hào) C23C16/50（2006.01）I;C23C16/455（2006.01）I;C23C16/52（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 曾武楊;陳特超;唐電;楊彬;楊志權(quán) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 湖南紅太陽(yáng)光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 湖南兆弘專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張園
地址 410205湖南省長(zhǎng)沙市高新開(kāi)發(fā)區(qū)桐梓坡西路586號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種平板式PECVD設(shè)備用的多段式電極板輝光放電裝置，包括反應(yīng)腔、腔蓋、多個(gè)送氣機(jī)構(gòu)、上電極板和下電極板，所述腔蓋設(shè)置在所述反應(yīng)腔的上方，所述上電極板和下電極板設(shè)置在所述反應(yīng)腔內(nèi)，所述上電極板包括多個(gè)電極單元，所述多個(gè)送氣機(jī)構(gòu)分別與多個(gè)電極單元連通。本發(fā)明具有鍍膜均勻性高、制造成本更低、能提升電池轉(zhuǎn)換效率等優(yōu)點(diǎn)。