一種快速仿真光刻工藝的計(jì)算方法及系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111033531.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113779928A 公開（公告）日 2021-12-10
申請公布號 CN113779928A 申請公布日 2021-12-10
分類號 G06F30/398（2020.01）I;G03F1/36（2012.01）I;G03F7/20（2006.01）I 分類 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù);
發(fā)明人 胡濱 申請（專利權(quán)）人 珠海市睿晶聚源科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 牛麗霞
地址 519000廣東省珠海市大學(xué)路101號3棟302
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種快速仿真光刻工藝的計(jì)算方法及系統(tǒng)，所述方法包括：采取數(shù)值積分公式，獲取計(jì)算Hopkins公式所需的采樣點(diǎn)（f’,g’）；計(jì)算PupilK函數(shù)、PupilK*函數(shù)以及光源J函數(shù)的重疊區(qū)域；找到所述重疊區(qū)域的共有區(qū)域即積分區(qū)域；將所述積分區(qū)域劃分網(wǎng)格，對每一個(gè)網(wǎng)格計(jì)算數(shù)值積分；將每一個(gè)分段區(qū)域的積分值相加得到TCC函數(shù)值；獲得光強(qiáng)值。本發(fā)明的快速計(jì)算TCC的方法，可以提高仿真光刻工藝的速度以及精度，以用于先進(jìn)節(jié)點(diǎn)的版圖光學(xué)鄰近修正處理。