一種快速仿真光刻工藝的計算方法及系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111033531.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113779928B 公開（公告）日 2022-07-08
申請公布號 CN113779928B 申請公布日 2022-07-08
分類號 G06F30/398（2020.01）I;G03F1/36（2012.01）I;G03F7/20（2006.01）I 分類 計算；推算；計數(shù);
發(fā)明人 胡濱 申請（專利權(quán)）人 珠海市睿晶聚源科技有限公司
代理機構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標代理有限公司 代理人 -
地址 519000廣東省珠海市大學路101號3棟302
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種快速仿真光刻工藝的計算方法及系統(tǒng)，所述方法包括：采取數(shù)值積分公式，獲取計算Hopkins公式所需的采樣點（f’,g’）；計算PupilK函數(shù)、PupilK*函數(shù)以及光源J函數(shù)的重疊區(qū)域；找到所述重疊區(qū)域的共有區(qū)域即積分區(qū)域；將所述積分區(qū)域劃分網(wǎng)格，對每一個網(wǎng)格計算數(shù)值積分；將每一個分段區(qū)域的積分值相加得到TCC函數(shù)值；獲得光強值。本發(fā)明的快速計算TCC的方法，可以提高仿真光刻工藝的速度以及精度，以用于先進節(jié)點的版圖光學鄰近修正處理。