一種加速版圖處理的方法及系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010444483.X 申請日 -
公開（公告）號 CN111458974A 公開（公告）日 2020-07-28
申請公布號 CN111458974A 申請公布日 2020-07-28
分類號 G03F1/36(2012.01)I;G03F7/20(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 趙西金;胡濱 申請（專利權(quán)）人 珠海市睿晶聚源科技有限公司
代理機構(gòu) 北京華際知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 陶小麗
地址 519000廣東省珠海市香洲區(qū)大學(xué)路101號3棟302
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種加速版圖處理的方法及系統(tǒng)，方法包括版圖劃分及修正步驟和版圖合并步驟，系統(tǒng)包括一個管理節(jié)點、若干個計算節(jié)點和若干個儲存節(jié)點，進(jìn)行層次化整理，區(qū)塊劃分，并行修正，修正結(jié)果合并等需要在計算機處理系統(tǒng)中完成，區(qū)塊相互獨立，可以使區(qū)塊在多個計算節(jié)點獨立完成修正；發(fā)明利用復(fù)用單元層次化，其余單元扁平化分割版圖的方式，用于加速OPC全芯片并行修正的過程，提高并行修正的效率，修正結(jié)果復(fù)用，提高內(nèi)部單元制造的一致性，保證芯片的性能，發(fā)明層次化的單元樹合并修正切割塊，可以縮短OPC驗證，掩膜規(guī)則檢查，二次修正的時間，同時降低修正后數(shù)據(jù)的存儲空間。??