一種加速版圖處理的方法及系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010444483.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN111458974A | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-07-28 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111458974A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-07-28 |
| 分類(lèi)號(hào) | G03F1/36(2012.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 分類(lèi) | - |
| 發(fā)明人 | 趙西金;胡濱 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 珠海市睿晶聚源科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京華際知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 陶小麗 |
| 地址 | 519000廣東省珠海市香洲區(qū)大學(xué)路101號(hào)3棟302 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種加速版圖處理的方法及系統(tǒng)，方法包括版圖劃分及修正步驟和版圖合并步驟，系統(tǒng)包括一個(gè)管理節(jié)點(diǎn)、若干個(gè)計(jì)算節(jié)點(diǎn)和若干個(gè)儲(chǔ)存節(jié)點(diǎn)，進(jìn)行層次化整理，區(qū)塊劃分，并行修正，修正結(jié)果合并等需要在計(jì)算機(jī)處理系統(tǒng)中完成，區(qū)塊相互獨(dú)立，可以使區(qū)塊在多個(gè)計(jì)算節(jié)點(diǎn)獨(dú)立完成修正；發(fā)明利用復(fù)用單元層次化，其余單元扁平化分割版圖的方式，用于加速OPC全芯片并行修正的過(guò)程，提高并行修正的效率，修正結(jié)果復(fù)用，提高內(nèi)部單元制造的一致性，保證芯片的性能，發(fā)明層次化的單元樹(shù)合并修正切割塊，可以縮短O(píng)PC驗(yàn)證，掩膜規(guī)則檢查，二次修正的時(shí)間，同時(shí)降低修正后數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)空間。?? |
