一種集成電路光學(xué)鄰近修正并行處理的方法及其系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111033770.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113777877A 公開（公告）日 2021-12-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN113777877A 申請(qǐng)公布日 2021-12-10
分類號(hào) G03F1/36（2012.01）I;G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 趙西金;胡濱 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 珠海市睿晶聚源科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 盧澤明
地址 519000廣東省珠海市大學(xué)路101號(hào)3棟302
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種集成電路光學(xué)鄰近修正并行處理的方法及其系統(tǒng)，其特征在于，包括：S1、主節(jié)點(diǎn)讀取版圖數(shù)據(jù)，并根據(jù)負(fù)載平衡的原則和剖分算法，將版圖分解為各區(qū)塊；S2、將各區(qū)塊數(shù)據(jù)分別調(diào)度到多個(gè)從節(jié)點(diǎn)進(jìn)行預(yù)處理；S3、利用并行消息傳遞接口，同步對(duì)各個(gè)區(qū)塊的圖形，進(jìn)行邊切分以及控制點(diǎn)設(shè)置；S4、利用并行消息傳遞接口，同步對(duì)各節(jié)點(diǎn)區(qū)塊的版圖圖形進(jìn)行邊偏移計(jì)算,根據(jù)光學(xué)模型計(jì)算邊緣放置誤差；S5、若邊緣放置誤差滿足優(yōu)化要求，結(jié)束修正，主節(jié)點(diǎn)合并各區(qū)塊修正結(jié)果；否則根據(jù)誤差，迭代運(yùn)行所述S4，直到邊緣放置誤差滿足優(yōu)化要求。本發(fā)明法可以將整體版圖數(shù)據(jù)的每次迭代計(jì)算的邊偏移信息同步，通過(guò)規(guī)則約束，保證計(jì)算的修正圖形拼接無(wú)異常。