一種霍爾晶圓測試裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921628480.0 申請日 -
公開（公告）號 CN210982670U 公開（公告）日 2020-07-10
申請公布號 CN210982670U 申請公布日 2020-07-10
分類號 G01R31/28(2006.01)I;G01R33/02(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 張文偉;宋瑞潮 申請（專利權）人 西安中科阿爾法電子科技有限公司
代理機構 西安智邦專利商標代理有限公司 代理人 西安中科阿爾法電子科技有限公司
地址 710119陜西省西安市高新區(qū)新型工業(yè)園西部大道60號研究生教育中心1層中科創(chuàng)星眾創(chuàng)空間22號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型屬于晶圓檢測裝置，為了解決現(xiàn)有技術中測試霍爾晶圓的手動探針臺無法同時測試獲得磁場系數(shù)的技術問題，提供一種霍爾晶圓測試裝置，包括基座、顯微鏡、磁場發(fā)生器、高斯計、移動平臺、支座和安裝于基座上的支架；顯微鏡安裝于支架上，移動平臺固定于基座1上，移動平臺上設有放置待測晶圓的置物臺；磁場發(fā)生器安裝于支座上；磁場發(fā)生器包括無磁性金屬框架，無磁性金屬框架的中心處開設通孔，通孔的外圍設有中空的圓柱形凸臺；圓柱形凸臺內盤繞有銅線，銅線的兩端連接有通電裝置；顯微鏡的鏡頭位于通孔的正上方，通孔和放置待測晶圓的置物臺相對，待測晶圓位于圓柱形凸臺的正下方；高斯計的探頭放置于待測晶圓上。??