THz-TDS測試樣品時(shí)反射脈沖干涉濾除方法、系統(tǒng)、介質(zhì)及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> 2020109674005 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN112255190A 公開（公告）日 2021-01-22
申請公布號(hào) CN112255190A 申請公布日 2021-01-22
分類號(hào) G01N21/3586(2014.01)I;G06F17/14(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 楊旻蔚 申請（專利權(quán)）人 華太極光光電技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 鄔嫡波
地址 200433上海市楊浦區(qū)軍工路1436號(hào)64幢一層A137室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種THz?TDS測試樣品時(shí)反射脈沖干涉濾除方法、系統(tǒng)、介質(zhì)及裝置，包括：按照常規(guī)THz?TDS測試方法，獲取樣品的時(shí)域信號(hào)TSam(t)以及樣品和吸收譜信號(hào)A(f)；對TSam(t)中的主脈沖與第一級(jí)反射脈沖進(jìn)行時(shí)域分析，獲取兩者對應(yīng)的時(shí)域延時(shí)量Δt；對A(f)進(jìn)行N點(diǎn)離散傅里葉變換得到橫坐標(biāo)為光程差的吸收譜干涉曲線S(t)和干涉功率譜密度曲線I(t)＝|S(t)/N|2；結(jié)合Δt對I(t)進(jìn)行濾波迭代得到新干涉功率譜密度曲線Inew(t)；將I(t)和Inew(t)進(jìn)行比較得到對應(yīng)濾波段的幅度衰減系數(shù)ai＝[Inew(ti)/I(ti)]1/2，得到濾波修正后的離散傅里葉變換Snew(t)；對Snew(t)進(jìn)行離散傅里葉逆變換，得到濾除干涉后的吸收譜：Anew(f)＝IFFT[Snew(t)]。本發(fā)明無需先驗(yàn)獲取樣品色散信息或反射脈沖信號(hào)出現(xiàn)的精確時(shí)域位置，實(shí)現(xiàn)對于吸收譜反射峰干涉條紋高效率的濾波。??