一種真空型太赫茲干燥探頭及檢測方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201910723729.4 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN112345484A | 公開（公告）日 | 2021-02-09 |
| 申請公布號 | CN112345484A | 申請公布日 | 2021-02-09 |
| 分類號 | G01N21/3581(2014.01)I; | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 王丹 | 申請（專利權(quán)）人 | 華太極光光電技術(shù)有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 尹麗云 |
| 地址 | 200433上海市楊浦區(qū)軍工路1436號64幢一層A137室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提出一種真空型太赫茲干燥探頭，包括：腔體、抽真空模塊、太赫茲波發(fā)射模塊和太赫茲波接收模塊，所述腔體內(nèi)設(shè)置有用于調(diào)節(jié)太赫茲波傳輸方向的調(diào)節(jié)裝置和用于放置被測物體的置物臺；所述抽真空模塊與所述腔體對接，對所述腔體進行抽真空；所述太赫茲波發(fā)射模塊和所述太赫茲波接收模塊設(shè)置于所述腔體外部；所述調(diào)節(jié)裝置接收所述太赫茲波發(fā)射模塊發(fā)出的太赫茲波，并將所述太赫茲波聚焦到被測物體表面；所述調(diào)節(jié)裝置將穿過所述被測物體表面的太赫茲波發(fā)送給所述太赫茲波接收模塊，對被測物體進行檢測；本發(fā)明可有效提高檢測準(zhǔn)確性，結(jié)構(gòu)簡單，操作便捷。?? |
