太赫茲系統(tǒng)及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110192203.5 申請日 -
公開（公告）號 CN112903587A 公開（公告）日 2021-06-04
申請公布號 CN112903587A 申請公布日 2021-06-04
分類號 G01N21/01;G01N21/3586 分類 測量；測試;
發(fā)明人 周銘;孫麗;嚴(yán)麗平;劉揚;徐菲;嚴(yán)中亮;虞斌;施杰;吳玫曉;楊旻蔚 申請（專利權(quán)）人 華太極光光電技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 鄔嫡波
地址 200233 上海市徐匯區(qū)欽州路508號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種太赫茲系統(tǒng)及方法，包括：環(huán)形導(dǎo)軌、太赫茲發(fā)射鏡頭、樣品座、樣品座支架、二維掃描臺和太赫茲接收鏡頭；環(huán)形導(dǎo)軌上設(shè)有第一和第二滑塊；第一和第二滑塊沿環(huán)形導(dǎo)軌滑動；太赫茲發(fā)射鏡頭旋轉(zhuǎn)設(shè)置于第一滑塊上，太赫茲接收鏡頭旋轉(zhuǎn)設(shè)置于第二滑塊上；樣品座支架一端與樣品座連接，另一端與二維掃描臺連接，以使二維掃描臺帶動樣品座進行二維運動，以使樣品座相對于太赫茲發(fā)射鏡頭和太赫茲接收鏡頭做二維運動；太赫茲發(fā)射鏡頭發(fā)出太赫茲波，以使放置于樣品座上的樣品反射或透射太赫茲波，以使攜帶有樣品信息的太赫茲波被太赫茲接收鏡頭接收。本發(fā)明的一種太赫茲系統(tǒng)及方法，用于同時提供可以切換不同的檢測模式，對樣品進行二維掃描。