一種氣密性測(cè)試裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120609615.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214471597U 公開(kāi)（公告）日 2021-10-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN214471597U 申請(qǐng)公布日 2021-10-22
分類號(hào) G01M3/26 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 江鐵軍;王振交 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州晶拓半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京科知維創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 許益民
地址 215000 江蘇省蘇州市中國(guó)（江蘇）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)蘇州片區(qū)蘇州工業(yè)園區(qū)蘇虹中路77號(hào)208室東單元
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種氣密性測(cè)試裝置，該氣密性測(cè)試裝置包括出氣控制單元和多個(gè)測(cè)試單元，多個(gè)測(cè)試單元依次串聯(lián)連接，每個(gè)測(cè)試單元均包括連接子單元和進(jìn)氣子單元，連接子單元包括進(jìn)氣口和出氣口，進(jìn)氣子單元包括進(jìn)氣開(kāi)關(guān)和壓力顯示器，進(jìn)氣開(kāi)關(guān)的進(jìn)口端與其相鄰的測(cè)試單元的出氣口連通，進(jìn)氣開(kāi)關(guān)的出口端與屬于同一進(jìn)氣子單元的壓力顯示器的進(jìn)口端連通，壓力顯示器的出口端與屬于同一測(cè)試單元的進(jìn)氣口連通，出氣控制單元的進(jìn)口端與多個(gè)測(cè)試單元中位于最末端的測(cè)試單元的出氣口連通。