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    • 廣奕電子

    上海廣奕電子科技股份有限公司

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    • 地址：中國（上海）自由貿(mào)易試驗區(qū)郭守敬路351號2號樓A644-28室
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    序號 商標名稱 國際分類 注冊號 狀態(tài) 申請日期 操作
    1 VASTITY - 20942726 商標已注冊 2016-08-11 查看
    2 VASTITY - 17960361 商標無效 2015-09-23 查看

    專利信息0

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    軟件著作權41

    序號 軟件名稱 軟件簡稱 版本號 登記號 分類號 首次發(fā)表日期 登記批準日期
    1 廣奕全自動刻蝕淀積一體機自動控制系統(tǒng) - V1.0 2021SR0082114 - - 2021-01-15
    2 全自動反應離子刻蝕機控制系統(tǒng) - V1.0 2021SR0082087 - - 2021-01-15
    3 廣奕晶圓制造生產(chǎn)線光刻機單機在線調度軟件 - V1.0 2021SR0081940 - - 2021-01-15
    4 廣奕硅芯刻蝕清洗工藝程序軟件 - V1.0 2021SR0081939 - - 2021-01-15
    5 廣奕離子注入機射頻同步加速控制軟件 - V1.0 2020SR0816009 - - 2020-07-23
    6 廣奕擴散爐工藝自動化計算機管理系統(tǒng) - V1.0 2020SR0815995 - - 2020-07-23
    7 廣奕硅片傳輸系統(tǒng)板庫控制軟件 - V1.0 2020SR0815974 - - 2020-07-23
    8 廣奕硅片腐蝕清洗機程序軟件 - V1.0 2020SR0815967 - - 2020-07-23
    9 廣奕注入機工藝試驗平臺控制軟件 - V1.0 2020SR0810865 - - 2020-07-22
    10 廣奕光刻機精密工作臺誤差分析系統(tǒng) - V1.0 2020SR0807685 - - 2020-07-22

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