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    專利信息6

    序號(hào) 專利名稱 專利類型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開（公告）號(hào) 公布日期
    1 含硅偶聯(lián)劑共聚物成膜樹脂及其有機(jī)防反射涂膜 發(fā)明專利 CN200610039656.X CN100425630C 2008-10-15
    2 含硅偶聯(lián)劑的共聚物成膜樹脂及其193nm光刻膠 發(fā)明專利 CN200510040276.3 CN1320007C 2007-06-06
    3 光刻膠成膜樹脂制備中的聚合物選擇水解方法 發(fā)明專利 CN200510040392.5 CN1300187C 2007-02-14
    4 含硅偶聯(lián)劑共聚物成膜樹脂及其有機(jī)防反射涂膜 發(fā)明專利 CN200610039656.X CN1847274A 2006-10-18
    5 光刻膠成膜樹脂制備中的聚合物選擇水解方法 發(fā)明專利 CN200510040392.5 CN1699431A 2005-11-23
    6 含硅偶聯(lián)劑的共聚物成膜樹脂及其193nm光刻膠 發(fā)明專利 CN200510040276.3 CN1693323A 2005-11-09

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