一種陣列式元器件的測試裝置和陣列式元器件的檢測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010797682.9 申請日 -
公開（公告）號 CN111812447A 公開（公告）日 2020-10-23
申請公布號 CN111812447A 申請公布日 2020-10-23
分類號 G01R31/01(2020.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張小東;蔡建鎂;袁昊冉;蘇榮;黃新青;周競斌;幸剛 申請（專利權）人 深圳市華騰半導體設備有限公司
代理機構 深圳市精英專利事務所 代理人 深圳市華騰半導體設備有限公司
地址 518000廣東省深圳市南山區(qū)桃源街道留仙大道1201號平山工業(yè)區(qū)17棟109號2層2號房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種陣列式元器件的測試裝置和陣列式元器件的檢測方法。一種陣列式元器件的測試裝置，包括移動機構，及設于移動機構動力輸出端的檢測機構；所述移動機構用于驅動檢測機構運動，以使對陣列式設置的待測工件進行檢測。本發(fā)明待測工件為陣列式設置，檢測機構設置在移動機構上，以使檢測機構能對待測工件逐一進行檢測。本發(fā)明無需將待測工件進行剝離，直接在固定盤上進行測試，節(jié)省工序，減少設備，降低成本，提高效率。??