一種用于靶材的旋轉頂升系統(tǒng)及其工作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111596673.4 申請日 -
公開（公告）號 CN114045469A 公開（公告）日 2022-02-15
申請公布號 CN114045469A 申請公布日 2022-02-15
分類號 C23C14/56（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 劉振波;茹鈺婷;郭小勇;邢珍帥;趙啟煥 申請（專利權）人 湖州愛康光電科技有限公司
代理機構 江陰市揚子專利代理事務所（普通合伙） 代理人 隋玲玲
地址 313100浙江省湖州市長興縣煤山鎮(zhèn)浙能智慧能源科技產(chǎn)業(yè)園浙江愛康光電科技有限公司廠區(qū)內(nèi)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種用于靶材的旋轉頂升系統(tǒng)及其工作方法，屬于太陽能電池制造的技術領域。它包括旋轉軸和頂升軸；所述旋轉軸和頂升軸均設置在固定塊內(nèi)，所述旋轉軸和頂升軸上均沿螺旋狀排布設置有螺旋葉片，所旋轉軸與頂升軸的螺旋葉片之間為嚙合結構，并在固定塊的內(nèi)側壁上設置有與螺旋葉片結構匹配的螺旋狀卡齒；所述頂升軸的頂部設置靶材孔，所述靶材孔包括靶材放置位和頂升位；所述頂升位的內(nèi)徑與頂升軸相匹配；所述靶材放置位的內(nèi)徑大于頂升位，且與靶材相匹配；所述頂升位上方的一側設置離子槍。本發(fā)明采用旋轉頂升方式，在頂升靶材時，使靶材旋轉上升，使靶材圓柱體旋轉，各面都均勻燃燒，提高了靶材的利用率，還解決了透明導電膜色差問題。