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  • 誠(chéng)芯

    南京誠(chéng)芯集成電路技術(shù)研究院有限公司

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    • 地址:南京市浦口區(qū)江浦街道浦濱路320號(hào)科創(chuàng)一號(hào)大廈B座21樓
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    • 專利信息 19
    • 軟件著作權(quán) 7
    • 作品著作權(quán) 0
    • 網(wǎng)站備案 2

    商標(biāo)信息0

    暫無(wú)信息 暫無(wú)商標(biāo)信息

    專利信息19

    序號(hào) 專利名稱 專利類型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開(公告)號(hào) 公布日期
    1 一種判斷通孔開路缺陷的方法 發(fā)明專利 CN202111414177.2 CN114119544A 2022-03-01
    2 一種篩選光學(xué)系統(tǒng)像差敏感度的方法 發(fā)明專利 CN202111448235.3 CN114114853A 2022-03-01
    3 一種光刻套刻標(biāo)識(shí)設(shè)計(jì)方法 發(fā)明專利 CN201911388384.8 CN110908256B 2021-11-26
    4 一種應(yīng)對(duì)應(yīng)力影響套刻誤差的方法和系統(tǒng) 發(fā)明專利 CN202110617362.5 CN113376971A 2021-09-10
    5 一種用于掩模制造和激光直寫光刻的雙重直寫方法 發(fā)明專利 CN202010582950.5 CN111781801B 2021-07-23
    6 倒梯形或T型結(jié)構(gòu)的工藝質(zhì)量評(píng)估方法及系統(tǒng) 發(fā)明專利 CN201910993367.0 CN110728097B 2021-06-22
    7 倒梯形或T型結(jié)構(gòu)的工藝質(zhì)量評(píng)估方法及系統(tǒng) 發(fā)明專利 CN201910993367.0 CN110728097A 2021-06-22
    8 一種基于機(jī)器學(xué)習(xí)確定光刻系統(tǒng)焦面位置的方法 發(fā)明專利 CN201910993362.8 CN110727178B 2021-06-22
    9 一種基于機(jī)器學(xué)習(xí)確定光刻系統(tǒng)焦面位置的方法 發(fā)明專利 CN201910993362.8 CN110727178A 2021-06-22
    10 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的監(jiān)控和數(shù)據(jù)的篩選方法 發(fā)明專利 CN202110134784.7 CN112885731A 2021-06-01

    軟件著作權(quán)7

    序號(hào) 軟件名稱 軟件簡(jiǎn)稱 版本號(hào) 登記號(hào) 分類號(hào) 首次發(fā)表日期 登記批準(zhǔn)日期
    1 集成電路納米高精度尺寸和粗糙度表征系統(tǒng) iCDMeT V1.0 2020SR0571064 - - 2020-06-04
    2 集成電路孔型結(jié)構(gòu)尺寸和缺陷測(cè)量系統(tǒng) CirleEdgeFinding_PSD V1.0 2020SR0571058 - - 2020-06-04
    3 集成電路對(duì)準(zhǔn)質(zhì)量仿真和工藝參數(shù)優(yōu)化系統(tǒng) GUIforAlignment V1.0 2020SR0571051 - - 2020-06-04
    4 集成電路版圖處理軟件 GDSViewer V1.0 2020SR0571044 - - 2020-06-04
    5 Virtual Fab集成電路虛擬制造仿真系統(tǒng) Virtual Fab V1.0 2020SR0571037 - - 2020-06-04
    6 集成電路版圖光刻像質(zhì)分析軟件 ProjSimu V1.0 2020SR0571029 - - 2020-06-04
    7 誠(chéng)芯投影光刻光學(xué)成像仿真軟件 DUVLithoSimu V1.0 2020SR0386600 10100-0000 2019-10-15 2020-04-27

    作品著作權(quán)0

    暫無(wú)信息 暫無(wú)作品著作權(quán)

    網(wǎng)站備案2

    序號(hào) 網(wǎng)站名 網(wǎng)址 備案號(hào) 主辦單位性質(zhì) 審核日期
    1 微電子制造學(xué)報(bào) www.jommpublish.com 蘇ICP備20021958號(hào) 企業(yè) 2020-04-30
    2 微電子制造學(xué)報(bào) www.lithotechsolutions.com 蘇ICP備20021958號(hào) 企業(yè) 2020-04-30
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