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    • 創(chuàng)翔軟件

    深圳市創(chuàng)翔軟件有限公司

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    序號 軟件名稱 軟件簡稱 版本號 登記號 分類號 首次發(fā)表日期 登記批準日期
    1 創(chuàng)翔JC-P 硅片破損檢測機軟件系統(tǒng) - V1.1 2016SR001546 10100-0000 - 2016-01-05
    2 創(chuàng)翔LXP-Ⅲ-B型全自動高效硅片下片控制系統(tǒng) - V2.0 2015SR205675 10100-0000 - 2015-10-26
    3 創(chuàng)翔SMZ-Ⅰ型PECVD石墨舟自動裝卸片控制系統(tǒng) SMZ-Ⅰ V1.0.1 2015SR205613 10100-0000 - 2015-10-26
    4 創(chuàng)翔LSP-Ⅲ-B型全自動高效硅片自動上片控制系統(tǒng) LSP-Ⅲ-B V1.0.2 2015SR205579 10100-0000 - 2015-10-26
    5 創(chuàng)翔DS300C低壓高溫擴散爐控制系統(tǒng) DS300C V1.0.1 2015SR205575 10100-0000 - 2015-10-26
    6 創(chuàng)翔SYZ石英舟裝卸片控制系統(tǒng) - V1.0 2015SR205557 10100-0000 - 2015-10-26
    7 創(chuàng)翔PD_380B型PECVD控制系統(tǒng) PD_380B V1.0.1 2014SR140872 40000-3600 - 2014-09-18
    8 MD_600A型ZnO_MOCVD控制系統(tǒng) MD_600A V1.0.1 2013SR016536 40000-0000 - 2013-02-25
    9 DS-300A型太陽能電池擴散/氧化爐監(jiān)控系統(tǒng) 擴散爐監(jiān)控系統(tǒng) V2.66 2011SR085546 30200-3600 - 2011-11-21
    10 PD-380A型管式PECVD設(shè)備監(jiān)控系統(tǒng) 管式PECVD監(jiān)控系統(tǒng) V1.52 2011SR085188 30200-3600 - 2011-11-21

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