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    佛山中科微納科技有限公司

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    序號 專利名稱 專利類型 申請?zhí)?/th> 公開（公告）號 公布日期
    1 對薄膜金屬材料上電子束曝光臨近效應的改善方法 發(fā)明專利 CN200910032300.7 CN101691205B 2012-02-29
    2 對薄膜金屬材料上電子束曝光臨近效應的改善方法 發(fā)明專利 CN200910032300.7 CN101691205A 2010-04-07

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