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    1 一種用于純化三氯化硼的除氯化氫裝置及三氯化硼的純化系統(tǒng) 發(fā)明專利 CN202210222173.2 CN114572992A 2022-06-03
    2 一種高純四氟化硅裂解反應(yīng)器 發(fā)明專利 CN202210222172.8 CN114534626A 2022-05-27

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