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上海集成電路材料研究院（簡稱“材料研究院”）由中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所和上海硅產(chǎn)業(yè)集團(tuán)股份有限公司發(fā)起組建，聚焦集成電路材料的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化。 材料研究院研發(fā)布局覆蓋襯底材料及工藝材料，主攻12英寸大硅片、新型SOI襯底、高端光刻膠、先進(jìn)掩模版、先進(jìn)拋光材料、高純工藝化學(xué)品、高純電子氣體等方向，并以集成電路材料微分析平臺及集成電路材料基因組創(chuàng)新體系為支撐，加速集成電路材料的研發(fā)和應(yīng)用。 材料研究院探索與企業(yè)、高校院所等各類創(chuàng)新主體之間的溝通與合作機(jī)制，加強(qiáng)跨地域、跨機(jī)構(gòu)、全產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同的成果轉(zhuǎn)化網(wǎng)絡(luò)建設(shè)，促成多種形式的產(chǎn)學(xué)研用合作創(chuàng)新，并堅(jiān)持科技創(chuàng)新與制度創(chuàng)新雙輪驅(qū)動，通過聯(lián)合研發(fā)、自主立項(xiàng)等模式形成可持續(xù)發(fā)展的技術(shù)創(chuàng)新機(jī)體，加快推動技術(shù)創(chuàng)新及產(chǎn)業(yè)化，為集成電路材料發(fā)展提供堅(jiān)實(shí)的創(chuàng)新策源。