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    深圳遠(yuǎn)榮半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

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    專(zhuān)利信息5

    序號(hào) 專(zhuān)利名稱(chēng) 專(zhuān)利類(lèi)型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開(kāi)（公告）號(hào) 公布日期
    1 一種晶圓平面的校正裝置 實(shí)用新型 CN202121992379.0 CN216054643U 2022-03-15
    2 一種晶圓翻轉(zhuǎn)裝置 實(shí)用新型 CN202121991186.3 CN215625201U 2022-01-25
    3 一種晶圓表面清洗裝置 實(shí)用新型 CN202121992393.0 CN215613558U 2022-01-25
    4 一種異型玻璃表面勻膠治具 實(shí)用新型 CN202121992676.5 CN215612900U 2022-01-25
    5 一種晶圓平面的校正裝置 發(fā)明專(zhuān)利 CN202110967595.8 CN113707589A 2021-11-26

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