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    福建泓光半導體材料有限公司

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    專利信息25

    序號 專利名稱 專利類型 申請?zhí)?/th> 公開(公告)號 公布日期
    1 一種光刻膠及其制備方法和應用以及光刻方法 發(fā)明專利 CN201811265920.0 CN109212919B 2022-02-08
    2 一種抗蝕劑下層膜單體和組合物及圖案形成方法 發(fā)明專利 CN201910387117.2 CN110054594B 2021-07-13
    3 一種抗蝕劑下層膜單體和組合物及圖案形成方法 發(fā)明專利 CN201910387117.2 CN110054594A 2021-07-13
    4 一種硬掩膜單體和組合物及圖案形成方法 發(fā)明專利 CN201910387089.4 CN110041286B 2021-03-19
    5 一種光刻膠生產用管道儀表閥門 實用新型 CN201921368594.6 CN210623584U 2020-05-26
    6 一種全自動光刻膠灌裝裝置 實用新型 CN201921368644.0 CN210620222U 2020-05-26
    7 一種光刻膠灌裝機灌裝內部潔凈裝置 實用新型 CN201921368645.5 CN210620199U 2020-05-26
    8 一種光刻膠自動貼標裝置 實用新型 CN201921368841.2 CN210618730U 2020-05-26
    9 一種用于光刻膠生產的自動進料設備 實用新型 CN201921368667.1 CN210511058U 2020-05-12
    10 一種用于光刻膠生產的混合設備 實用新型 CN201921368642.1 CN210496093U 2020-05-12

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