華楷
山東華楷微電子裝備有限公司
開業(yè)商標(biāo)信息2
專利信息2
序號(hào) | 專利名稱 | 專利類型 | 申請(qǐng)?zhí)?/th> | 公開(公告)號(hào) | 公布日期 |
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1 | 一種光刻機(jī)Mark點(diǎn)的CCD調(diào)焦裝置 | 實(shí)用新型 | CN202021705398.6 | CN212694246U | 2021-03-12 |
2 | 一種光刻機(jī)的硅片直線預(yù)矯正裝置 | 實(shí)用新型 | CN202021705397.1 | CN212694245U | 2021-03-12 |
軟件著作權(quán)4
序號(hào) | 軟件名稱 | 軟件簡(jiǎn)稱 | 版本號(hào) | 登記號(hào) | 分類號(hào) | 首次發(fā)表日期 | 登記批準(zhǔn)日期 |
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1 | 一種濕法刻蝕機(jī)軟件控制系統(tǒng) | - | V1.0 | 2021SR1304198 | - | - | 2021-09-01 |
2 | 一種半導(dǎo)體晶圓清洗機(jī)兩軸運(yùn)動(dòng)控制軟件系統(tǒng) | - | V1.0 | 2021SR1302705 | - | - | 2021-09-01 |
3 | 一種半導(dǎo)體顯影設(shè)備觸摸屏控制系統(tǒng) | - | V1.0 | 2021SR1302704 | - | - | 2021-09-01 |
4 | 一種旋轉(zhuǎn)噴淋浸沒顯影裝置軟件控制系統(tǒng) | - | V1.0 | 2021SR1300586 | - | - | 2021-09-01 |
作品著作權(quán)0
網(wǎng)站備案0
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