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    山東華楷微電子裝備有限公司

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    • 地址:山東省日照高新區(qū)高新六路17號(hào)日照智慧微電產(chǎn)業(yè)園(高新六路與艷陽路交匯處)
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    商標(biāo)信息2

    序號(hào) 商標(biāo)名稱 國際分類 注冊(cè)號(hào) 狀態(tài) 申請(qǐng)日期 操作
    1 圖形 09類-科學(xué)儀器 59128999 初審公告 2021-09-09 查看
    2 圖形 07類-機(jī)械設(shè)備 59105643 初審公告 2021-09-09 查看

    專利信息2

    序號(hào) 專利名稱 專利類型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開(公告)號(hào) 公布日期
    1 一種光刻機(jī)Mark點(diǎn)的CCD調(diào)焦裝置 實(shí)用新型 CN202021705398.6 CN212694246U 2021-03-12
    2 一種光刻機(jī)的硅片直線預(yù)矯正裝置 實(shí)用新型 CN202021705397.1 CN212694245U 2021-03-12

    軟件著作權(quán)4

    序號(hào) 軟件名稱 軟件簡(jiǎn)稱 版本號(hào) 登記號(hào) 分類號(hào) 首次發(fā)表日期 登記批準(zhǔn)日期
    1 一種濕法刻蝕機(jī)軟件控制系統(tǒng) - V1.0 2021SR1304198 - - 2021-09-01
    2 一種半導(dǎo)體晶圓清洗機(jī)兩軸運(yùn)動(dòng)控制軟件系統(tǒng) - V1.0 2021SR1302705 - - 2021-09-01
    3 一種半導(dǎo)體顯影設(shè)備觸摸屏控制系統(tǒng) - V1.0 2021SR1302704 - - 2021-09-01
    4 一種旋轉(zhuǎn)噴淋浸沒顯影裝置軟件控制系統(tǒng) - V1.0 2021SR1300586 - - 2021-09-01

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