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專利信息3

序號(hào)	專利名稱	專利類型	申請(qǐng)?zhí)?/th>	公開(kāi)（公告）號(hào)	公布日期
1	一種晶圓參數(shù)的修調(diào)方法及裝置	發(fā)明專利	CN201510979581.2	CN105551993B	2018-06-12
2	一種晶圓測(cè)試用AMP板卡	實(shí)用新型	CN201521080789.2	CN205229404U	2016-05-11
3	一種晶圓參數(shù)的修調(diào)方法及裝置	發(fā)明專利	CN201510979581.2	CN105551993A	2016-05-04

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