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    • 三特真空

    錦州市三特真空冶金技術(shù)工業(yè)有限公司

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    序號(hào) 專(zhuān)利名稱(chēng) 專(zhuān)利類(lèi)型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開(kāi)（公告）號(hào) 公布日期
    1 一種高純多晶硅的生產(chǎn)方法及生產(chǎn)裝備 發(fā)明專(zhuān)利 CN200910158901.2 CN101602506B 2012-10-24
    2 一種高純多晶硅的生產(chǎn)方法及生產(chǎn)裝備 發(fā)明專(zhuān)利 CN200910158901.2 CN101602506A 2009-12-16
    3 一種化學(xué)氣相沉積固態(tài)先驅(qū)體供給設(shè)備 發(fā)明專(zhuān)利 CN200410062706.7 CN100339504C 2007-09-26
    4 真空感應(yīng)化學(xué)氣相沉積/滲透系統(tǒng)分布式控制裝置 發(fā)明專(zhuān)利 CN200710010132.2 CN101003896A 2007-07-25
    5 一種化學(xué)氣相沉積固態(tài)先驅(qū)體供給設(shè)備 發(fā)明專(zhuān)利 CN200410062706.7 CN1718854A 2006-01-11
    6 化學(xué)氣相共沉積與滲透先驅(qū)體自動(dòng)供給裝置 實(shí)用新型 CN200420073084.3 CN2716285Y 2005-08-10
    7 一種化學(xué)氣相共沉積與滲透尾氣處理裝置 實(shí)用新型 CN200420073083.9 CN2716284Y 2005-08-10
    8 真空感應(yīng)速凝爐的冷卻滾筒 實(shí)用新型 CN02275428.8 CN2577215Y 2003-10-01
    9 真空感應(yīng)速凝爐的速凝室 實(shí)用新型 CN02275427.X CN2569069Y 2003-08-27
    10 真空感應(yīng)速凝爐 實(shí)用新型 CN02275429.6 CN2569066Y 2003-08-27

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