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    序號(hào) 專(zhuān)利名稱(chēng) 專(zhuān)利類(lèi)型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開(kāi)(公告)號(hào) 公布日期
    1 一種激光飛行時(shí)間光雷達(dá) 實(shí)用新型 CN201890000986.4 CN211786109U 2020-10-27
    2 一種提升垂直腔面發(fā)射激光器濕法氧化工藝均勻性的方法及裝置 發(fā)明專(zhuān)利 CN202010002979.1 CN111162452A 2020-05-15
    3 一種垂直腔面發(fā)射激光器 發(fā)明專(zhuān)利 CN201811477564.9 CN109524878B 2019-08-09
    4 一種垂直腔面發(fā)射激光器的濕法氧化工藝及裝置 發(fā)明專(zhuān)利 CN201810959116.6 CN109193340B 2019-06-28
    5 一種晶圓結(jié)構(gòu)及其測(cè)試方法 發(fā)明專(zhuān)利 CN201811008476.4 CN109285827B 2019-05-31
    6 一種垂直腔面發(fā)射激光器 發(fā)明專(zhuān)利 CN201811477564.9 CN109524878A 2019-03-26
    7 一種晶圓結(jié)構(gòu)及其測(cè)試方法 發(fā)明專(zhuān)利 CN201811008476.4 CN109285827A 2019-01-29
    8 一種激光飛行時(shí)間光雷達(dá) 發(fā)明專(zhuān)利 CN201810959118.5 CN109270547A 2019-01-25
    9 一種砷化鎵的干法蝕刻工藝及其應(yīng)用 發(fā)明專(zhuān)利 CN201810959093.9 CN109216183A 2019-01-15
    10 一種垂直腔面發(fā)射激光器的濕法氧化工藝及裝置 發(fā)明專(zhuān)利 CN201810959116.6 CN109193340A 2019-01-11

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