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    • 美興光電

    徐州美興光電科技有限公司

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    專利信息7

    序號(hào) 專利名稱 專利類型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開(kāi)（公告）號(hào) 公布日期
    1 一種具有自清潔功能的藍(lán)寶石刻蝕設(shè)備 發(fā)明專利 CN202210019324.4 CN114474436A 2022-05-13
    2 用于干法蝕刻設(shè)備機(jī)械手臂不間斷供電的電池更換系統(tǒng) 實(shí)用新型 CN202023047708.2 CN214100952U 2021-08-31
    3 一種Scrubber設(shè)備進(jìn)氣管路自動(dòng)沖洗裝置 實(shí)用新型 CN202023089433.9 CN214078266U 2021-08-31
    4 一種用于冷盤的清潔系統(tǒng) 實(shí)用新型 CN202023054648.7 CN214078265U 2021-08-31
    5 一種光刻膠噴頭清潔裝置 實(shí)用新型 CN202023046584.6 CN214077445U 2021-08-31
    6 一種接近式軟膜曝光微納陷光結(jié)構(gòu)的制備方法 發(fā)明專利 CN201610489978.8 CN106098843B 2017-06-23
    7 一種接近式軟膜曝光微納陷光結(jié)構(gòu)的制備方法 發(fā)明專利 CN201610489978.8 CN106098843A 2016-11-09

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