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    序號(hào) 專利名稱 專利類型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開(kāi)（公告）號(hào) 公布日期
    1 石英坩堝腐蝕桶及腐蝕結(jié)構(gòu) 實(shí)用新型 CN202120384787.1 CN215480535U 2022-01-11
    2 半導(dǎo)體加工用卡具 實(shí)用新型 CN202120417308.1 CN215470602U 2022-01-11
    3 去除晶體表面氧化物的裝置 實(shí)用新型 CN202120418414.1 CN215394461U 2022-01-04
    4 半導(dǎo)體元件倒角用真空吸筆 實(shí)用新型 CN202120407287.5 CN214753688U 2021-11-16
    5 磷化鎵位錯(cuò)腐蝕用容器組件及磷化鎵位錯(cuò)水浴腐蝕裝置 實(shí)用新型 CN202120398779.2 CN214736218U 2021-11-16
    6 一種石墨舟及區(qū)熔提純用設(shè)備 實(shí)用新型 CN202022364068.1 CN214361826U 2021-10-08
    7 一種水平砷化鎵單晶切片用粘結(jié)臺(tái)及粘結(jié)裝置 實(shí)用新型 CN202022246620.7 CN214353404U 2021-10-08
    8 雙面倒角砂輪及鍺片倒角加工用裝置 實(shí)用新型 CN202022931144.2 CN214351798U 2021-10-08
    9 石英管清洗裝置 實(shí)用新型 CN202022218052.X CN214348382U 2021-10-08
    10 用于在鍺晶體生長(zhǎng)過(guò)程中粘出臟料的方法 發(fā)明專利 CN202010495166.0 CN111809237B 2021-10-08

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