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    廣東思沃激光科技有限公司

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    序號(hào) 專(zhuān)利名稱(chēng) 專(zhuān)利類(lèi)型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開(kāi)（公告）號(hào) 公布日期
    1 分光曝光系統(tǒng) 實(shí)用新型 CN202023045894.6 CN214067574U 2021-08-27
    2 一種無(wú)掩膜光刻設(shè)備 實(shí)用新型 CN202022844337.4 CN214011719U 2021-08-20
    3 一種無(wú)掩膜光刻設(shè)備 實(shí)用新型 CN202022844287.X CN213750654U 2021-07-20
    4 一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的全反射混光系統(tǒng) 實(shí)用新型 CN202022937871.X CN213423614U 2021-06-11
    5 一種反射效率高的全反射混光系統(tǒng) 實(shí)用新型 CN202022935595.3 CN213362341U 2021-06-04
    6 一種方便調(diào)節(jié)的全反射混光系統(tǒng) 實(shí)用新型 CN202022935593.4 CN213362340U 2021-06-04
    7 曝光方法、曝光機(jī)及計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì) 發(fā)明專(zhuān)利 CN202011499334.X CN112462578A 2021-03-09
    8 一種無(wú)掩膜光刻設(shè)備和無(wú)掩膜光刻方法 發(fā)明專(zhuān)利 CN202011374596.3 CN112379578A 2021-02-19
    9 一種無(wú)掩膜光刻設(shè)備和無(wú)掩膜光刻方法 發(fā)明專(zhuān)利 CN202011374575.1 CN112379577A 2021-02-19

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