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  • 睿芯

    安徽睿芯半導(dǎo)體科技有限公司

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    • 地址:安徽省合肥經(jīng)開區(qū)桃花工業(yè)園繁華大道工投立恒工業(yè)廣場(chǎng)B-3-1東
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    專利信息23

    序號(hào) 專利名稱 專利類型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開(公告)號(hào) 公布日期
    1 一種光刻機(jī)間隙曝光控制裝置 實(shí)用新型 CN202122138240.6 CN215867503U 2022-02-18
    2 一種多尺寸通用傳輸機(jī)構(gòu) 實(shí)用新型 CN202122138201.6 CN215853558U 2022-02-18
    3 一種IPA干燥設(shè)備 實(shí)用新型 CN202122149340.9 CN215809786U 2022-02-11
    4 一種用于單片式濕法設(shè)備的藥液供給裝置 實(shí)用新型 CN202122147736.X CN215785481U 2022-02-11
    5 一種用于光刻機(jī)工藝的自動(dòng)對(duì)焦裝置 實(shí)用新型 CN202122138184.6 CN215769356U 2022-02-08
    6 一種基于衍射光柵器件的自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)裝置 實(shí)用新型 CN202122138219.6 CN215769164U 2022-02-08
    7 一種基于圖像識(shí)別的自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)裝置 實(shí)用新型 CN202122149346.6 CN215679438U 2022-01-28
    8 一種PID自適應(yīng)溫控裝置 實(shí)用新型 CN202122135982.3 CN215679148U 2022-01-28
    9 一種掩膜版自動(dòng)傳輸裝置 實(shí)用新型 CN202023309924.X CN215478248U 2022-01-11
    10 一種用于單片式濕法設(shè)備的藥液溫控裝置 實(shí)用新型 CN202122156633.X CN215450003U 2022-01-07

    軟件著作權(quán)4

    序號(hào) 軟件名稱 軟件簡(jiǎn)稱 版本號(hào) 登記號(hào) 分類號(hào) 首次發(fā)表日期 登記批準(zhǔn)日期
    1 睿芯曝光機(jī)雙工作臺(tái)智能監(jiān)控系統(tǒng) - V1.0 2018SR988828 - 2018-10-09 2018-12-07
    2 睿芯曝光機(jī)超純水監(jiān)控系統(tǒng) - V1.0 2018SR988814 - 2017-12-30 2018-12-07
    3 睿芯CCD視覺對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng) - V1.0 2018SR985537 - 2018-10-10 2018-12-06
    4 睿芯曝光機(jī)水溫監(jiān)控系統(tǒng) - V1.0 2018SR984871 - 2017-12-30 2018-12-06

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