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    金瑞泓微電子（衢州）有限公司

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    專(zhuān)利信息6

    序號(hào) 專(zhuān)利名稱(chēng) 專(zhuān)利類(lèi)型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開(kāi)（公告）號(hào) 公布日期
    1 一種用于晶圓外延處理的自動(dòng)化設(shè)備及其操作方法 發(fā)明專(zhuān)利 CN201910769316.X CN110670128B 2021-04-30
    2 一種可穩(wěn)定硅源濃度的氣動(dòng)閥門(mén)組件 實(shí)用新型 CN201922183477.9 CN211502324U 2020-09-15
    3 一種可穩(wěn)定硅源濃度的自動(dòng)控制系統(tǒng)及其控制方法 發(fā)明專(zhuān)利 CN201911248924.2 CN111101111A 2020-05-05
    4 一種用于晶圓外延處理的自動(dòng)化設(shè)備及其操作方法 發(fā)明專(zhuān)利 CN201910769316.X CN110670128A 2020-01-10
    5 一種在高COP硅單晶襯底上制備200mm-300mm低缺陷外延片的方法 發(fā)明專(zhuān)利 CN201610041286.7 CN105543951B 2019-01-01
    6 一種在高COP硅單晶襯底上制備200mm-300mm低缺陷外延片的方法 發(fā)明專(zhuān)利 CN201610041286.7 CN105543951A 2016-05-04

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