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    啟迪微電子（蕪湖）有限公司

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    專利信息6

    序號(hào) 專利名稱 專利類型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開（公告）號(hào) 公布日期
    1 一種電流孔徑垂直電子晶體管外延結(jié)構(gòu) 實(shí)用新型 CN201922200106.7 CN211017086U 2020-07-14
    2 碳化硅外延生長(zhǎng)用石墨盤基座 實(shí)用新型 CN201922201374.0 CN211005719U 2020-07-14
    3 一種P型SiC外延及其生長(zhǎng)方法 發(fā)明專利 CN202010095671.6 CN111293037A 2020-06-16
    4 一種電流孔徑垂直電子晶體管外延結(jié)構(gòu)及其制備方法 發(fā)明專利 CN201911260778.5 CN110797409A 2020-02-14
    5 晶片烘干系統(tǒng) 發(fā)明專利 CN201110042028.8 CN102148136B 2014-05-07
    6 晶片烘干系統(tǒng) 發(fā)明專利 CN201110042028.8 CN102148136A 2011-08-10

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