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    湖州中微科技有限公司

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    專利信息7

    序號(hào) 專利名稱 專利類型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開（公告）號(hào) 公布日期
    1 一種微孔金屬填充結(jié)構(gòu)及填充方法 發(fā)明專利 CN201510323889.1 CN106298639B 2019-04-30
    2 一種微孔填充設(shè)備 發(fā)明專利 CN201510943287.6 CN106882763B 2018-11-16
    3 微納機(jī)電晶圓的圓片級(jí)封裝方法及結(jié)構(gòu) 發(fā)明專利 CN201610040115.2 CN106986300A 2017-07-28
    4 一種微孔填充設(shè)備 發(fā)明專利 CN201510943287.6 CN106882763A 2017-06-23
    5 一種微孔金屬填充結(jié)構(gòu)及填充方法 發(fā)明專利 CN201510323889.1 CN106298639A 2017-01-04
    6 一種微孔金屬填充結(jié)構(gòu)及方法 發(fā)明專利 CN201310064231.4 CN103107129B 2015-01-21
    7 一種微孔金屬填充結(jié)構(gòu)及方法 發(fā)明專利 CN201310064231.4 CN103107129A 2013-05-15

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