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    萬(wàn)華化學(xué)集團(tuán)電子材料有限公司

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    序號(hào) 專利名稱 專利類型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開(kāi)（公告）號(hào) 公布日期
    1 一種硅片減薄裝置和用于單晶硅片的減薄加工工藝 發(fā)明專利 CN202111401298.3 CN114161245A 2022-03-11
    2 一種化學(xué)機(jī)械拋光墊的拋光層及其制備方法 發(fā)明專利 CN202011232817.3 CN112318363B 2022-03-11
    3 適用于硅片粗拋光的化學(xué)機(jī)械拋光組合物及其應(yīng)用 發(fā)明專利 CN202110883514.6 CN113549399B 2022-02-15
    4 一種藍(lán)寶石拋光組合物及其應(yīng)用 發(fā)明專利 CN202010992178.4 CN112175524B 2022-02-15
    5 一種高效、高精度硅片拋光組合物及其制備方法和應(yīng)用 發(fā)明專利 CN202111420369.4 CN114032033A 2022-02-11
    6 一種終點(diǎn)檢測(cè)精度高的化學(xué)機(jī)械拋光墊、制備方法及其應(yīng)用 發(fā)明專利 CN202111437207.1 CN114029856A 2022-02-11
    7 提高拋光平坦度的化學(xué)機(jī)械拋光墊及其應(yīng)用 發(fā)明專利 CN202111312061.8 CN113977453A 2022-01-28
    8 一種化學(xué)機(jī)械拋光清洗液及使用方法 發(fā)明專利 CN202010634290.0 CN113881510A 2022-01-04
    9 一種再生晶圓化學(xué)機(jī)械拋光液及其制備方法 發(fā)明專利 CN202111312049.7 CN113861848A 2021-12-31
    10 一種高潔凈度拋光片的制備工藝 發(fā)明專利 CN202111075148.8 CN113808918A 2021-12-17

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