浦東新興
上海浦東新興產(chǎn)業(yè)投資有限公司
存續(xù)商標信息0
專利信息33
序號 | 專利名稱 | 專利類型 | 申請?zhí)?/th> | 公開(公告)號 | 公布日期 |
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1 | 晶圓清潔箱內(nèi)微環(huán)境控制裝置及控制方法 | 發(fā)明專利 | CN201410110078.9 | CN104952759B | 2019-03-12 |
2 | 基于前值的關鍵尺寸測量方法和設備 | 發(fā)明專利 | CN201510323992.6 | CN106289095B | 2019-02-19 |
3 | 硅片吸盤 | 發(fā)明專利 | CN201510323807.3 | CN106252791B | 2019-02-19 |
4 | 研磨絲調(diào)整機構以及研磨絲調(diào)整方法 | 發(fā)明專利 | CN201510415699.2 | CN106346335B | 2019-01-22 |
5 | 三維空間光源系統(tǒng)及相關的光測量設備 | 實用新型 | CN201721201675.8 | CN207850536U | 2018-09-11 |
6 | 物體表面高度快速定位的方法與裝置 | 發(fā)明專利 | CN201410190950.5 | CN105091759B | 2018-08-24 |
7 | 確定測量模式和光學系統(tǒng)參數(shù)容差的方法和裝置 | 發(fā)明專利 | CN201410542475.3 | CN105571484B | 2018-07-06 |
8 | 一種用于優(yōu)化光學系統(tǒng)參數(shù)的方法和裝置 | 發(fā)明專利 | CN201410542473.4 | CN105571483B | 2018-06-26 |
9 | 用于光學關鍵尺寸測量的方法及裝置 | 發(fā)明專利 | CN201410234193.7 | CN105444666B | 2018-05-25 |
10 | 物體旋轉中心的定標方法與裝置 | 發(fā)明專利 | CN201410394877.3 | CN105444643B | 2018-05-04 |
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