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    • 赫智科技

    赫智科技（蘇州）有限公司

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    專利信息12

    序號 專利名稱 專利類型 申請?zhí)?/th> 公開（公告）號 公布日期
    1 一種基于無掩膜光刻機(jī)的數(shù)字掩膜版工藝 發(fā)明專利 CN202110344156.1 CN113064330A 2021-07-02
    2 一種多功能光電流測試平臺 實(shí)用新型 CN202022690273.7 CN213580651U 2021-06-29
    3 一種適用于光刻機(jī)設(shè)備外殼的結(jié)構(gòu) 實(shí)用新型 CN202020890908.5 CN211741834U 2020-10-23
    4 一種適用于太赫茲時域光譜儀中反射模式機(jī)構(gòu) 實(shí)用新型 CN202020393750.0 CN211669058U 2020-10-13
    5 一種投影式遠(yuǎn)端掩模板光刻方法及其設(shè)備 發(fā)明專利 CN202010518861.4 CN111552152A 2020-08-18
    6 一種多功能測試平臺 實(shí)用新型 CN201922336402.X CN211263153U 2020-08-14
    7 一種無掩模板光刻裝置 發(fā)明專利 CN202010337223.2 CN111458987A 2020-07-28
    8 一種適用于光偏振分辨的檢測裝置的安裝機(jī)構(gòu) 實(shí)用新型 CN201922095612.4 CN211042489U 2020-07-17
    9 一種適用于太赫茲時域光譜儀的外殼封蓋結(jié)構(gòu) 實(shí)用新型 CN201921849477.1 CN210803260U 2020-06-19
    10 一種多功能測試平臺 發(fā)明專利 CN201911336798.6 CN110836854A 2020-02-25

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