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    • 先鋒精密

    江蘇先鋒精密科技股份有限公司

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    • 地址：靖江市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)新港大道195號(hào)
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    專利信息104

    序號(hào) 專利名稱 專利類型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開（公告）號(hào) 公布日期
    1 MOCVD裝置輸運(yùn)管檢漏用連接機(jī)構(gòu) 實(shí)用新型 CN202022199637.1 CN213513220U 2021-06-22
    2 PECVD晶圓加熱用保護(hù)裝置 實(shí)用新型 CN202022199614.0 CN213507190U 2021-06-22
    3 用于冷卻板上通水柱的防變形焊接工裝 實(shí)用新型 CN202022178448.6 CN213497409U 2021-06-22
    4 刻蝕機(jī)反應(yīng)腔頂蓋的冷卻管成型工裝 實(shí)用新型 CN202022199576.9 CN213495829U 2021-06-22
    5 具有高溫加熱功能的晶圓傳輸裝置 實(shí)用新型 CN202022199641.8 CN213150746U 2021-05-07
    6 一種晶圓加熱器表面溫度分布檢測(cè)裝置 實(shí)用新型 CN201922228724.2 CN213022000U 2021-04-20
    7 用于晶圓升降的頂針支撐部件的裝配方法 發(fā)明專利 CN202011053640.0 CN112192496A 2021-01-08
    8 刻蝕機(jī)用氣體噴淋盤的加工工藝 發(fā)明專利 CN202011062043.4 CN112192154A 2021-01-08
    9 晶圓傳輸裝置及底座的加工方法 發(fā)明專利 CN202011062065.0 CN112157407A 2021-01-01
    10 一種等離子刻蝕機(jī)用全封閉式云母加熱基座 實(shí)用新型 CN202020270294.0 CN211879329U 2020-11-06

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    序號(hào) 網(wǎng)站名 網(wǎng)址 備案號(hào) 主辦單位性質(zhì) 審核日期
    1 靖江先鋒半導(dǎo)體科技有限公司 www.sprint-tech.com 蘇ICP備2020064806號(hào) 企業(yè) 2020-11-23
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