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    • 訊穎

    上海訊穎電子科技有限公司

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    • 地址：上海市松江區(qū)新橋鎮(zhèn)莘磚公路668號(hào)207室
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    • 商標(biāo)信息 0
    • 專利信息 11
    • 軟件著作權(quán) 10
    • 作品著作權(quán) 0
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    商標(biāo)信息0

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    專利信息11

    序號(hào) 專利名稱 專利類型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開（公告）號(hào) 公布日期
    1 一種反應(yīng)腔裝置 實(shí)用新型 CN202023041281.5 CN214279904U 2021-09-24
    2 一種預(yù)真空鎖模塊 實(shí)用新型 CN202023184107.6 CN213583732U 2021-06-29
    3 一種反應(yīng)腔裝置 實(shí)用新型 CN202022651965.0 CN213583693U 2021-06-29
    4 一種半導(dǎo)體加工用清洗裝置 發(fā)明專利 CN202011620408.0 CN112827930A 2021-05-25
    5 一種腔內(nèi)晶圓尋心系統(tǒng) 實(shí)用新型 CN202022652065.8 CN213242522U 2021-05-18
    6 一種緩沖腔和晶圓傳送系統(tǒng) 實(shí)用新型 CN202022655692.7 CN213242506U 2021-05-18
    7 一種預(yù)真空鎖模塊、晶圓傳入方法及傳出方法 發(fā)明專利 CN202011566379.4 CN112599460A 2021-04-02
    8 一種反應(yīng)腔裝置及其工作方法 發(fā)明專利 CN202011496224.8 CN112447488A 2021-03-05
    9 一種緩沖腔、晶圓傳送系統(tǒng)及其工作方法 發(fā)明專利 CN202011283475.8 CN112349633A 2021-02-09
    10 一種腔內(nèi)晶圓尋心系統(tǒng)及其工作方法 發(fā)明專利 2020112845165 CN112259487A 2021-01-22

    軟件著作權(quán)10

    序號(hào) 軟件名稱 軟件簡(jiǎn)稱 版本號(hào) 登記號(hào) 分類號(hào) 首次發(fā)表日期 登記批準(zhǔn)日期
    1 Mark8涂膠顯影機(jī)維護(hù)管理系統(tǒng) - V1.0 2020SR1657930 - - 2020-11-26
    2 2205I10C步進(jìn)式光刻機(jī)運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)控管理系統(tǒng) - V1.0 2020SR1611736 - - 2020-11-19
    3 2205I10C步進(jìn)式光刻機(jī)運(yùn)行參數(shù)配置系統(tǒng) - V1.0 2020SR1611735 - - 2020-11-19
    4 Mark8涂膠顯影機(jī)設(shè)備運(yùn)行控制系統(tǒng) - V1.0 2020SR1611734 - - 2020-11-19
    5 PMC100掩膜版清洗機(jī)運(yùn)維管控系統(tǒng) - V1.0 2020SR1610762 - - 2020-11-19
    6 PMC100掩膜版清洗機(jī)參數(shù)優(yōu)化配置系統(tǒng) - V1.0 2020SR1610747 - - 2020-11-19
    7 PMC100掩摸版清洗機(jī)節(jié)能優(yōu)化控制系統(tǒng) - V1.0 2020SR1610732 - - 2020-11-19
    8 2205I10C步進(jìn)式光刻機(jī)智能化控制系統(tǒng) - V1.0 2020SR1610577 - - 2020-11-19
    9 Mark8涂膠顯影機(jī)參數(shù)配置系統(tǒng) - V1.0 2020SR1610535 - - 2020-11-19
    10 Mark8電子工業(yè)設(shè)備運(yùn)維數(shù)據(jù)分析系統(tǒng) - V1.0 2020SR1610262 - - 2020-11-19

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