同光科技
河北同光科技發(fā)展有限公司
存續(xù)商標(biāo)信息3
專利信息15
序號(hào) | 專利名稱 | 專利類型 | 申請(qǐng)?zhí)?/th> | 公開(公告)號(hào) | 公布日期 |
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1 | 一種碳化硅晶圓貫穿型管道缺陷的檢測(cè)方法及裝置 | 發(fā)明專利 | CN202110988095.2 | CN113758641A | 2021-12-07 |
2 | 用于解決碳化硅晶圓化學(xué)機(jī)械拋光后產(chǎn)生局部高點(diǎn)的方法、陶瓷盤、化學(xué)機(jī)械拋光裝置 | 發(fā)明專利 | CN202110988094.8 | CN113681456A | 2021-11-23 |
3 | 高純半絕緣SiC單晶的制備方法 | 發(fā)明專利 | CN202010691891.5 | CN111893564B | 2021-10-29 |
4 | 一種高質(zhì)量大直徑SiC單晶的制備裝置 | 實(shí)用新型 | CN202021499230.4 | CN212771047U | 2021-03-23 |
5 | 一種基于可控生長中心制備碳化硅單晶的方法 | 發(fā)明專利 | CN201910881831.7 | CN110656376B | 2021-02-26 |
6 | 一種低應(yīng)力碳化硅單晶的籽晶安裝裝置及晶體生長工藝 | 發(fā)明專利 | CN201910762897.4 | CN110541195B | 2021-02-26 |
7 | 一種低缺陷密度SiC單晶的制備裝置 | 實(shí)用新型 | CN202021500700.4 | CN212451746U | 2021-02-02 |
8 | 碳化硅單晶快速擴(kuò)徑生長系統(tǒng) | 實(shí)用新型 | CN202021415249.6 | CN212451745U | 2021-02-02 |
9 | 高純半絕緣SiC單晶的制備方法 | 發(fā)明專利 | CN202010691891.5 | CN111893564A | 2020-11-06 |
10 | 一種碳化硅晶片化學(xué)機(jī)械拋光后表面保護(hù)方法 | 發(fā)明專利 | CN202010691694.3 | CN111883416A | 2020-11-03 |
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