真芯
真芯(北京)半導(dǎo)體有限責(zé)任公司
存續(xù)商標(biāo)信息0
專利信息110
序號 | 專利名稱 | 專利類型 | 申請?zhí)?/th> | 公開(公告)號 | 公布日期 |
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1 | 集成組合件、其制作方法、半導(dǎo)體存儲器及電子設(shè)備 | 發(fā)明專利 | CN202010271223.7 | CN113496994A | 2021-10-12 |
2 | 半導(dǎo)體器件的檢測方法、半導(dǎo)體器件及電子設(shè)備 | 發(fā)明專利 | CN202010270702.7 | CN113496908A | 2021-10-12 |
3 | 研磨頭氣動裝置及研磨頭 | 發(fā)明專利 | CN202010695430.5 | CN111805418B | 2021-09-21 |
4 | 一種遠(yuǎn)程等離子體輸送管以及遠(yuǎn)程等離子體處理設(shè)備 | 發(fā)明專利 | 2020109918349 | CN112259432A | 2021-01-22 |
5 | 主動減震系統(tǒng)及具有其的掃描電子顯微鏡 | 發(fā)明專利 | CN202011019851.2 | CN112228494A | 2021-01-15 |
6 | 光刻膠收集杯清理方法及光刻膠收集杯清理設(shè)備 | 發(fā)明專利 | CN202010752074.6 | CN112090890A | 2020-12-18 |
7 | 除塵管道及擴散設(shè)備 | 發(fā)明專利 | CN202010691355.5 | CN112077084A | 2020-12-15 |
8 | 緊急按鈕裝置及具有其的設(shè)備 | 發(fā)明專利 | CN202010702042.5 | CN112071685A | 2020-12-11 |
9 | 用于晶圓翻轉(zhuǎn)的機械手及機器人 | 發(fā)明專利 | CN202010702501.X | CN112060112A | 2020-12-11 |
10 | 檢測及清理光掩模的玻璃面及膜面上的微塵的裝置及方法 | 發(fā)明專利 | CN202010763336.9 | CN112051273A | 2020-12-08 |
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