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    湖南鎧欣新材料科技有限公司

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    序號(hào) 專(zhuān)利名稱 專(zhuān)利類(lèi)型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開(kāi)(公告)號(hào) 公布日期
    1 碳化硅化學(xué)氣相沉積爐的進(jìn)氣裝置 發(fā)明專(zhuān)利 CN202010560400.3 CN111560597B 2022-07-01
    2 一種化學(xué)氣相沉積爐尾氣處理裝置 實(shí)用新型 CN202021006547.X CN214345110U 2021-10-08
    3 一種化學(xué)氣相沉淀的基體支撐旋轉(zhuǎn)裝置 實(shí)用新型 CN202021030481.8 CN213203195U 2021-05-14
    4 一種鐘罩式化學(xué)氣相沉積爐 實(shí)用新型 CN202021338521.5 CN213203187U 2021-05-14
    5 一種化學(xué)氣相沉積爐的粉塵收集裝置 實(shí)用新型 CN202021013623.X CN213193032U 2021-05-14
    6 一種用于化學(xué)氣相沉積爐的活接頭導(dǎo)氣工裝 實(shí)用新型 CN202021346105.X CN212776068U 2021-03-23
    7 一種立式化學(xué)氣相沉積爐爐底加熱裝置 實(shí)用新型 CN202021346196.7 CN212770955U 2021-03-23
    8 一種碳化硅涂層生產(chǎn)用化學(xué)氣相沉積爐 實(shí)用新型 CN202021030767.6 CN212770951U 2021-03-23
    9 一種化學(xué)氣相沉積爐進(jìn)氣分布裝置 實(shí)用新型 CN202021357059.3 CN212770949U 2021-03-23
    10 一種化學(xué)氣相沉積爐的輔助進(jìn)氣裝置 實(shí)用新型 CN202021030735.6 CN212770948U 2021-03-23

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