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    • 志橙

    廣州志橙半導(dǎo)體有限公司

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    • 地址：廣州市黃埔區(qū)（中新廣州知識(shí)城）億創(chuàng)街1號(hào)406房之337（僅限辦公）
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    序號(hào) 專利名稱 專利類型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開（公告）號(hào) 公布日期
    1 一種CVD工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)裝置及CVD裝置 發(fā)明專利 CN202210382788.1 CN114686859A 2022-07-01
    2 一種碳化硅晶圓激光切割設(shè)備 發(fā)明專利 CN202210377582.X CN114453773B 2022-06-24
    3 一種碳化硅晶圓激光切割設(shè)備 發(fā)明專利 CN202210377582.X CN114453773A 2022-06-24
    4 一種石墨盤加工轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)械手 發(fā)明專利 CN202210353987.X CN114434475B 2022-06-17
    5 一種碳化硅槳的燒結(jié)工裝 發(fā)明專利 CN202210383380.6 CN114608329A 2022-06-10
    6 一種感應(yīng)加熱外延設(shè)備 發(fā)明專利 CN202210271324.3 CN114457424A 2022-05-10
    7 一種陶瓷涂層石墨托盤旋轉(zhuǎn)組件 發(fā)明專利 CN202210271334.7 CN114457417A 2022-05-10
    8 一種耐高溫陶瓷涂層石墨托盤組件 發(fā)明專利 CN202210271333.2 CN114457322A 2022-05-10
    9 一種石墨盤加工轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)械手 發(fā)明專利 CN202210353987.X CN114434475A 2022-05-06
    10 一種用于半導(dǎo)體制造流程的動(dòng)態(tài)監(jiān)控方法及系統(tǒng) 發(fā)明專利 CN202210143870.9 CN114429311A 2022-05-03

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