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    • 矽行

    蘇州矽行半導(dǎo)體技術(shù)有限公司

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    • 地址：蘇州高新區(qū)潯陽(yáng)江路70號(hào)
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    • 專利信息 9
    • 軟件著作權(quán) 2
    • 作品著作權(quán) 0
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    商標(biāo)信息0

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    專利信息9

    序號(hào) 專利名稱 專利類型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開(kāi)（公告）號(hào) 公布日期
    1 一種升降軸及晶圓載臺(tái) 發(fā)明專利 CN202210318970.0 CN114695245A 2022-07-01
    2 一種載臺(tái)系統(tǒng)及采用該載臺(tái)系統(tǒng)的晶圓驅(qū)動(dòng)方法 發(fā)明專利 CN202210318969.8 CN114695227A 2022-07-01
    3 一種制動(dòng)機(jī)構(gòu)及采用該制動(dòng)機(jī)構(gòu)的調(diào)角載臺(tái) 發(fā)明專利 CN202210318975.3 CN114688183A 2022-07-01
    4 一種回正叉機(jī)構(gòu)及晶圓載臺(tái) 發(fā)明專利 CN202210318982.3 CN114683227A 2022-07-01
    5 一種盤剎機(jī)構(gòu)及晶圓載臺(tái) 發(fā)明專利 CN202210317570.8 CN114683226A 2022-07-01
    6 一種晶圓載臺(tái) 發(fā)明專利 CN202210317587.3 CN114683223A 2022-07-01
    7 一種柔性運(yùn)動(dòng)臺(tái)及載臺(tái)系統(tǒng) 發(fā)明專利 CN202210318967.9 CN114619411A 2022-06-14
    8 一種晶圓側(cè)邊影像檢測(cè)裝置 發(fā)明專利 CN202210167185.X CN114460009A 2022-05-10
    9 一種集成式電子設(shè)備支架及設(shè)備機(jī)箱 發(fā)明專利 CN202210208090.8 CN114413153A 2022-04-29

    軟件著作權(quán)2

    序號(hào) 軟件名稱 軟件簡(jiǎn)稱 版本號(hào) 登記號(hào) 分類號(hào) 首次發(fā)表日期 登記批準(zhǔn)日期
    1 晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備配置管理系統(tǒng) - V1.0 2022SR0430469 - 2022-02-15 2022-04-02
    2 晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備調(diào)度與調(diào)試系統(tǒng) - V1.0 2022SR0430421 - 2022-02-15 2022-04-02

    作品著作權(quán)0

    暫無(wú)信息 暫無(wú)作品著作權(quán)

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