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    • 矽行

    蘇州矽行半導(dǎo)體技術(shù)有限公司

    存續(xù)
    • 官網(wǎng)：-
    • 地址：蘇州高新區(qū)潯陽江路70號
    • 簡介：-
    • 商標(biāo)信息 0
    • 專利信息 9
    • 軟件著作權(quán) 2
    • 作品著作權(quán) 0
    • 網(wǎng)站備案 0

    商標(biāo)信息0

    暫無信息 暫無商標(biāo)信息

    專利信息9

    序號 專利名稱 專利類型 申請?zhí)?/th> 公開（公告）號 公布日期
    1 一種升降軸及晶圓載臺 發(fā)明專利 CN202210318970.0 CN114695245A 2022-07-01
    2 一種載臺系統(tǒng)及采用該載臺系統(tǒng)的晶圓驅(qū)動方法 發(fā)明專利 CN202210318969.8 CN114695227A 2022-07-01
    3 一種制動機構(gòu)及采用該制動機構(gòu)的調(diào)角載臺 發(fā)明專利 CN202210318975.3 CN114688183A 2022-07-01
    4 一種回正叉機構(gòu)及晶圓載臺 發(fā)明專利 CN202210318982.3 CN114683227A 2022-07-01
    5 一種盤剎機構(gòu)及晶圓載臺 發(fā)明專利 CN202210317570.8 CN114683226A 2022-07-01
    6 一種晶圓載臺 發(fā)明專利 CN202210317587.3 CN114683223A 2022-07-01
    7 一種柔性運動臺及載臺系統(tǒng) 發(fā)明專利 CN202210318967.9 CN114619411A 2022-06-14
    8 一種晶圓側(cè)邊影像檢測裝置 發(fā)明專利 CN202210167185.X CN114460009A 2022-05-10
    9 一種集成式電子設(shè)備支架及設(shè)備機箱 發(fā)明專利 CN202210208090.8 CN114413153A 2022-04-29

    軟件著作權(quán)2

    序號 軟件名稱 軟件簡稱 版本號 登記號 分類號 首次發(fā)表日期 登記批準(zhǔn)日期
    1 晶圓缺陷檢測設(shè)備配置管理系統(tǒng) - V1.0 2022SR0430469 - 2022-02-15 2022-04-02
    2 晶圓缺陷檢測設(shè)備調(diào)度與調(diào)試系統(tǒng) - V1.0 2022SR0430421 - 2022-02-15 2022-04-02

    作品著作權(quán)0

    暫無信息 暫無作品著作權(quán)

    網(wǎng)站備案0

    暫無信息 暫無網(wǎng)站備案
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