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    • 亞電科技

    亞電科技南京有限公司

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    專利信息13

    序號(hào) 專利名稱 專利類型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開（公告）號(hào) 公布日期
    1 一種晶圓倒盒裝置 發(fā)明專利 CN202111244045.X CN113690169A 2021-11-23
    2 單片晶圓清洗裝置 實(shí)用新型 CN202120476734.2 CN214624981U 2021-11-05
    3 單片晶圓清洗裝置清洗盤結(jié)構(gòu) 實(shí)用新型 CN202120477189.9 CN214254367U 2021-09-21
    4 單片晶圓清洗裝置清洗盤結(jié)構(gòu)及單片晶圓清洗裝置 發(fā)明專利 CN202110239959.0 CN113113328A 2021-07-13
    5 單片晶圓清洗方法 發(fā)明專利 CN202110241048.1 CN113083766A 2021-07-09
    6 基于往復(fù)升縮的半導(dǎo)體晶圓外壁清洗裝置和方法 發(fā)明專利 CN202110365952.3 CN112802783B 2021-06-18
    7 基于往復(fù)升縮的半導(dǎo)體晶圓外壁清洗裝置和方法 發(fā)明專利 CN202110365952.3 CN112802783A 2021-06-18
    8 基于超聲震動(dòng)式處理的半導(dǎo)體晶圓的清洗裝置和方法 發(fā)明專利 CN202110365913.3 CN112735995B 2021-06-04
    9 基于超聲震動(dòng)式處理的半導(dǎo)體晶圓的清洗裝置和方法 發(fā)明專利 CN202110365913.3 CN112735995A 2021-06-04
    10 基于加熱干燥機(jī)構(gòu)的半導(dǎo)體晶圓的清洗裝置及清洗方法 發(fā)明專利 CN202110365883.6 CN112735994B 2021-06-04

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