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    • 富樂德

    上海富樂德智能科技發(fā)展有限公司

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    • 地址：上海市寶山區(qū)山連路181號(hào)10幢
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    專利信息33

    序號(hào) 專利名稱 專利類型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開（公告）號(hào) 公布日期
    1 一種潔凈室用包裝袋表面微污染的測(cè)試方法 發(fā)明專利 CN202110890729.0 CN113484446A 2021-10-08
    2 一種半導(dǎo)體制造用氣體分散部件表面痕量元素污染的測(cè)試方法 發(fā)明專利 CN202110901283.7 CN113484403A 2021-10-08
    3 適用于鎢化學(xué)氣相沉積設(shè)備圓頂罩的周轉(zhuǎn)運(yùn)輸泡棉 實(shí)用新型 CN202022762353.9 CN214268487U 2021-09-24
    4 一種半導(dǎo)體設(shè)備ALD氮化鈦裝置噴頭旋轉(zhuǎn)打磨治具 實(shí)用新型 CN202022868421.X CN214265162U 2021-09-24
    5 半導(dǎo)體設(shè)備離子植入裝置法蘭凸緣的打磨固定保護(hù)治具 實(shí)用新型 CN202022774193.X CN214265160U 2021-09-24
    6 一種用于半導(dǎo)體光電設(shè)備電極板的高壓水洗治具 實(shí)用新型 CN202023220131.0 CN214263146U 2021-09-24
    7 半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的噴淋部件的洗凈浸泡治具 實(shí)用新型 CN202022862827.7 CN214263143U 2021-09-24
    8 一種SiC外延晶圓片的洗凈再生方法 發(fā)明專利 CN202110516735.X CN113399341A 2021-09-17
    9 一種半導(dǎo)體制造設(shè)備部件表面痕量污染的測(cè)試方法 發(fā)明專利 CN202110498098.8 CN113311057A 2021-08-27
    10 一種晶圓ETCH制程設(shè)備靜電吸盤的洗凈再生方法及裝置 發(fā)明專利 CN202110498080.8 CN113299532A 2021-08-24

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